近日,韓國某半導體制造企業采購部發郵件告知,其在洛陽薄壁精密軸承有限公司定制的型號為SB0080XP5不銹鋼等截面薄壁軸承在晶圓清掃設備中完成了連續無故障運行測試(企業要求3-5萬小時),助力設備月稼動率從82%躍升至90%,創下該企業產線效率新紀錄。這一突破性進展標志著國產高精密軸承在半導體核心設備領域實現進口替代,并獲國外客戶認可。
洛陽薄壁精密軸承有限公司自成立之初,即將產品重 心放在了開發生產等截面薄壁軸承上,經過十多年的發展,企業研發能力得以增強,企業的生產也從最初的只生產標準型號到來圖定制。
SB0080XP5是洛陽薄壁精密軸承專為晶圓設備苛刻工況定制的產品,其標準型號結構為:內徑165.1mm、外徑180.975mm、厚度7.938mm,定制產品采用SUS440C不銹鋼材質,不銹鋼密封,混合球結構,實現了零顆粒污染,滿足了制程晶圓表面零缺陷要求;耐腐蝕升級,壽命較傳統軸承提升3倍;同時,其超低摩擦扭矩,降低機械臂電機負載。
在韓國工廠的實測中,SB0080XP5展現出可靠性:MTBF(平均無故障時間)達到了企業要求的標準,設備稼動率得到了8%的提升。
“SB0080XP5的穩定性遠超預期!”該企業采購部樸部長表示,“測試數據證實,洛陽薄壁軸承的性能可對標美系品牌,而成本優勢顯著。我們計劃于本季度簽署連續供貨協議并建立戰略庫存,以保障產線擴產需求。”
洛陽薄壁精密軸承有限公司技術楊總監指出:“SB0080XP5的成功驗證了國產軸承‘ji
薄、ji凈、ji穩’的技術路線。隨著全球半導體設備需求激增,我們已啟動陶瓷混合軸承(Si3N4球)與智能傳感軸承的研發,賦能客戶向2nm及以下先進制程沖刺。”